WWW.KNIGA.SELUK.RU

БЕСПЛАТНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА - Книги, пособия, учебники, издания, публикации

 

1

ЦЕЛИ ОСВОЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ

Целями освоения дисциплины «Технологические процессы нанесения покрытий методами вакуумных технологий» являются:

- изучение теоретических основ методах роста покрытий и пленок, их возможностях и ограничениях; физических основ явлений, происходящие на различных этапах процесса напыления и роста покрытий и пленок; особенности оборудования, определяемые природой

покрытий и методом их нанесения;

- получение практических навыков работы с приборами зарубежных и отечественных фирм в области наноизмерений и нанодиагностики покрытий, в том числе нано- и микроиндентирования, кало- и скратч-тестирования, трибометрирования;

- обоснование современных тенденций развития наноинженерии покрытий и пленок, технологий их получения и использования в машиностроении.

1. МЕСТО ДИСЦИПЛИНЫ В СТРУКТУРЕ ООП ВПО

Дисциплина «Технологические процессы нанесения покрытий методами вакуумных технологий» изучается в 4-ом семестре подготовки магистров по направлению 151900. после обязательного прохождения дисциплин «Методы обеспечения качества машиностроительной продукции», «Методология научных исследований в машиностроении», «Информационно-измерительные системы». Дисциплина является основной в конструкторско - технологическом обеспечении современных машиностроительных производств и базовой для подготовки магистерской диссертации.

При изучении дисциплины рассматриваются вопросы теоретического характера, а именно: общие сведения и классификация покрытий и технологий их получения, физикохимические основы технологических процессов нанесения покрытий, анализ перспективных типов покрытий и пленок, в том числе многофункциональных, алмазоподобных и нанострукутрированных. Большое внимание уделяется изучению технологических основ нанесения покрытий, изучению конструкций современных установок для нанесения покрытий. В рамках изучения дисциплины приобретаются практические навыки работы с устройствами наноизмерений: наноиндентер, микротвердомер, скратчтестер, калотестер, трибометр. В начале изучения дисциплины студенты тестируются по знаниям в области основ физики, химии, теоретической механики, технологии машиностроения, материаловедения, и практическим навыкам работы с компьютерами.

Основной упор в курсе делается на научное направление кафедры «Технологии машиностроения», а именно «Многослойные наноструктурированные покрытия и объемные материалы в машиностроении».

2. КОМПЕТЕНЦИИ ОБУЧАЮЩЕГОСЯ, ФОРМИРУЕМЫЕ В РЕЗУЛЬТАТЕ

ОСВОЕНИЯ ДИСЦИПЛИНЫ «ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ»

В результате освоения дисциплины обучающийся должен демонстрировать следующие результаты образования:

знать: основные принципы получения и анализа наноразмерных объектов и наноструктурированных покрытий; особенности построения наноразмерных объектов при различных технологиях их синтеза, состав и структуру установок для вакуумного нанесения покрытий; физико-химические основы взаимодействия напыляемых элементов с подложкой.

уметь: пользоваться методами наноизмерений и нанодиагностики; проводить разработку технологий нанесения наноструктурированных и многослойных покрытий; внедрять технологии нанесения покрытий в различные области машиностроения; выполнять постановку и проведение экспериментов по исследованию и созданию покрытий с заданными эксплуатационными характеристиками, 3) владеть: способностью применять на практике свои знания.

В процессе освоения дисциплины «Технологические процессы нанесения покрытий методами вакуумных технологий» у студентов развиваются следующие компетенции:

Профессиональные:

-способностью формулировать цели проекта (программы), задач при заданных критериях, целевых функциях, ограничениях, строить структуру их взаимосвязей, определять приоритеты решения задач (ПК-1);

-способностью реализовывать технические задания на модернизацию и автоматизацию действующих в машиностроении производственных и технологических процессов и производств, средства и системы необходимые для реализации модернизации и автоматизации (ПК-2);

-способностью выполнять разработку функциональной, логической, технической и экономической организации машиностроительных производств, их элементов, технического, алгоритмического и программного обеспечения на основе современных методов, средств и технологий проектирования (ПК-10);

-способностью разрабатывать и внедрять эффективные технологии изготовления машиностроительных изделий (ПК-14);

-способностью участвовать в модернизации и автоматизации действующих и проектирование новых эффективных машиностроительных производств различного назначения, средств и систем их оснащения, производственных и технологических процессов с использованием автоматизированных систем технологической подготовки производства (ПК-15);

-способностью выбирать материалы, оборудование и другие средства технологического оснащении, автоматизации и управления для реализации производственных и технологических процессов изготовления машиностроительных изделий (ПК-16).

3. СТРУКТУРА И СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ «ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ





ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНЫХ

ТЕХНОЛОГИЙ»

Общая трудоемкость дисциплины составляет _6_ зачетных единиц, _216_ часов.

Виды учебной работы, включая Объем самостоятельную работу сту- Формы теНеделя семестра учебной дентов и трудоемкость (в часах) кущего конработы Семестр № троля успеРаздел с применеПрактические занятия Лабораторные работы п/ ваемости Контрольные работы, Консультации дисциплины нием интеп форма проСеминары коллоквиумы КП / КР рактивных Лекции межуточной СРС методов аттестации Модуль 1. Классификация и физические основы процессов (ТП) нанесения покрытий.

Классификация логий их получераторным Обзор установок ноструктурных покрытий (НСП).

Особенности PVD, получения НСП.

Модуль 2. Физико-химические оценки свойств покрытий.

Особенности сения покрытий.

свойств покрытий.

Модуль 3. Разработка и оптимизация ТП получения НСП.

ных покрытий.

тестация 3.2. Содержание учебно-образовательных модулей Лекции учебным планом не предусмотрены.

Практические занятия имеют целью закрепить знания, полученные при изучении теоретической части курса. Темы практических занятий и объем в часах представлены ниже.

Модуль 1. Классификация и физификация современных покрытий.

ческие основы технологических процессов (ТП) нанесения покрыПрактическая работа №2. Методы новы технологий получения и оценки свойств покрытий. Практическая работа №5. Изучение Модуль 3. Разработка и оптимиза- Практическая работа № 6. Техноция ТП получения НСП. логический процесс нанесения покрытий: операции и параметры.

Лабораторный практикум предназначен для закрепления теоретического материала, полученного на лекционных занятиях, путем проведения в условиях лабораторий научно-образовательного центра университета экспериментальных работ.

Перед проведением лабораторных занятий студенты должны освоить соответствующий теоретический материал и процедуры выполнения лабораторной работы по заранее выданным учебным и методическим материалам. Темы лабораторных работ и объем в часах представлены ниже.

Модуль 1. Классификация и физические основы технологиче- SL+.

ских процессов (ТП) нанесения Лабораторная работа №2 Изучение Модуль 2. Физико-химические основы технологий получения и калотестера.

оценки свойств покрытий. Лабораторная работа № 5. Исследова- Модуль 3. Разработка и оптимидекоративных покрытий.

зация ТП получения НСП.

4. ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

В процессе обучения используются следующие формы образовательных технологий:

для лабораторных работ:

компьютерная симуляция измерений нанообъектов с помощью наноиндентирования, скратч-тестирования, кало-тестирования, трибометрирования;

мультимедийные тренинги по устройству установок для нанесения покрытий UniCoat 600 SL+, наноиндентирования, скратч-тестирования, кало-тестирования, трибометрирования.

для практических работ:

мастер-класс со специалистами в области наноизмерений (трибометрирование, скратчтестирование, калотестирование, наноиндентирование), наноструктурных покрытий.

Удельный вес занятий, проводимых в интерактивных формах составляет более 60% аудиторных занятий.

5. ОЦЕНОЧНЫЕ СРЕДСТВА ДЛЯ ТЕКУЩЕГО КОНТРОЛЯ УСПЕВАЕМОСТИ, ПРОМЕЖУТОЧНОЙ АТТЕСТАЦИИ ПО ИТОГАМ ОСВОЕНИЯ

ДИСЦИПЛИНЫ И УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ РАБОТЫ СТУДЕНТОВ

Оценочные средства для текущего контроля успеваемости по дисциплине:

отчеты по выполненным практическим работам;

отчеты по выполненным лабораторным работам;

устные опросы студентов во время практических и лабораторных занятий по изучаемому материалу.

Оценочные средства для промежуточной аттестации студентов по итогам освоения дисциплины:

тесты при проведении рейтинг-контроля.

Рубежный контроль проводится в форме тестирования. Тестирование заключается в оценке ответов обучающихся на поставленные вопросы.

Вопросы, относящиеся к первой рубежной аттестации 1. Классификация покрытий.

2. Классификация технологий получения покрытий и пленок.

3. Обзор установок для получения наноструктурных покрытий.

4. Особенности PVD технологий получения нанопокрытий.

5. CVD технологии получения нанопокрытий.

6. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий.

7. Устройства установки UNICOAT 600 SL+.

8. Особенности схемы напыления 2D и 3D-наноструктурных покрытий.

9. Структура покрытий, получаемых PVD-технологиями.

10. Основные физико-механические свойства покрытий и пленок.

Вопросы, относящиеся ко второй рубежной аттестации 1. Модели технологических процессов нанесения PVD-покрытий 2. Скорость термического испарения. Энергетический спектр испаренных атомов, их угловое распределение. Расчет скорости осаждения при баллистическом и диффузионном транспорте вещества от источника к подложке. Способы нагрева загрузки и конструкции испарителей. Испарение сплавов и соединений.

3. Молекулярно-лучевая эпитаксия.

4. Взаимодействие энергичных частиц с поверхностью при ионном распылении. Оже нейтрализация. Потенциальная и кинетическая эмиссии электронов Выделение ионного тока из полного тока мишени. Отражение от поверхности.

5. Физические особенности катодного распыления: радиус экранирования в плазме, плавающий и плазменный потенциалы, энергетические распределения электронов, диагностика плазмы.

6. Физика магнетронного распыления: электроны в скрещенных электрическом и магнитном полях, типы и характеристики магнетронных распылительных систем;

потоки энергичных частиц на поверхность растущих пленок.

7. Особенности физических процессов при реактивном ионно-плазменном напылении: поглощение газов и гистерезисные явления при реактивном напылении, напыление в режиме постоянных парциальных давлений.

8. Лазерное испарение и его физические особенности: взаимодействие лазерных пучков с поверхностью материалов, глубины проникновения, коэффициенты отражения, механизмы передачи энергии, испарение материалов под действием лазеров, импульсное лазерное испарение, влияние мощности и длительности импульса.

9. Химическое осаждение покрытий из газовой фазы: методы кристаллизации с участием химических реакций, пиролиз, реакции восстановления, окисления и т. д.

10. Критерии износостойкости покрытий.

Вопросы, относящиеся к третьей рубежной аттестации 1. Методы измерения и исследования физико-механических и трибологических свойств покрытий.

2. ТП получения многофункциональных покрытий.

3. Особенности технологии нанесения PVD-покрытий на пластмассы.

4. Особенности получения наноструктурированных покрытий режущего инструмента.

5. ТП алмазоподобных покрытий.

6. Оптимизация ТП нанесения PVD-покрытий.

7. Методы подготовки поверхности к напылению: механическая, химическая, плазмохимическая и ионная обработка поверхности, вакуум-термическая и химикотермическая подготовка поверхности.

8. Особенности нанесения PVD-покрытий: методы нагрева и охлаждение подложек, измерения температуры, плазмостойкие нагреватели, геометрия внеосевого напыления,влияние потенциала подложки на плазменное окисление пленок.

9. Методы снятия покрытий с образцов: механическая и химическая обработка.

10. Составные части оборудования для нанесения покрытий: вакуумные насосы, вентили, контролеры расхода газов, блоки питания испарителей, электронных пушек, мишеней, планетарные механизмы подложкодержателей, заслонки.

По дисциплине «Технологические процессы нанесения покрытий методами вакуумных технологий» окончательным рубежным контролем является экзамен. Основой экзаменационных билетов являются вопросы рейтинг-контроля по модулям 1-3.

К итоговой аттестации допускаются лица, выполнившие запланированные практические и лабораторные работы и отчитавшиеся по ним. При подготовке ответов особое внимание следует уделить физической сущности рассматриваемого процесса, аргументации принимаемых решений и теоретической стороне излагаемого вопроса.

1. Понятия "пленка" и "тонкая пленка". Эпитаксиальные пленки. Примеры свойств и возможностей применения тонких пленок.

2. Этапы процесса осаждения пленок и их физико-химические особенности.

3. Методы анализа и структурирования пленок.

4. Литография и травление - способы и предельные возможности. Основные этапы создания тонкопленочных приборов и устройств.

5. Конденсация, образование зародышей и рост тонких пленок. Капиллярная модель зародышеобразования. Четыре стадии роста пленки. Влияние характера зарождения пленок на их структуру.

6. Рост монокристаллических пленок. Послойный (2D), островковый (3D) и смешанный рост. Гетероэпитаксия, дислокации несоответствия, теория Ван дер Мерве.

7. Монокристаллические пленки на неориентирующих и аморфных подложках, графоэпитаксия, ионно-стиммулированый рост. Альтернативные осаждению методы создания монокристаллических пленок: SIMOX и Smart Cut процессы, латеральная кристаллизация.

8. Скорость термического испарения. Энергетический спектр испаренных атомов, их угловое распределение. Расчет скорости осаждения при баллистическом и диффузионном транспорте вещества от источника к подложке. Способы нагрева загрузки и конструкции испарителей. Испарение сплавов и соединений. Загрязнения в пленках и требования к вакууму.

9. Молекулярно-лучевая эпитаксия. Эффузионные ячейки. Материалы тиглей. Контроль in situ скорости напыления и структуры пленок.

10. Взаимодействие энергичных частиц с поверхностью при ионном распылении. Оже нейтрализация. Потенциальная и кинетическая эмиссии электронов Выделение ионного тока из полного тока мишени. Отражение от поверхности.

11. Газовый разряд, его типы, вольтамперная характеристика, условие самоподдержки.

Тлеющий разряд, распределение параметров плазмы по длине.

12. Радиус экранирования в плазме. Плавающий и плазменный потенциалы. Энергетические распределения электронов. Диагностика плазмы, зонды Лэнгмюра.

13. Энергии ионов в темном катодном слое. Рассеяние и перезарядка ионов. Зависимость энергии распыленных атомов от катодного потенциала. Высокочастотное распыление.

14. Электроны в скрещенных электрическом и магнитном полях. Типы и характеристики магнетронных распылительных систем.

15. Потоки энергичных частиц на поверхность растущих пленок. Перераспыление, газовое легирование. Термализация энергичных частиц. Реакции в газовой фазе.

16. Поглощение газов и гистерезисные явления при реактивном напылении. Напыление в режиме постоянных парциальных давлений.

17. Взаимодействие лазерных пучков с поверхностью материалов. Глубины проникновения, коэффициенты отражения, механизмы передачи энергии. Испарение материалов под действием лазеров. Импульсное лазерное испарение. Влияние мощности и длительности импульса.

18. Методы кристаллизации с участием химических реакций. Пиролиз, реакции восстановления, окисления и т. д. Синтез из металлоорганических соединений.

19. Метод химического транспорта. Пиролиз при распылении жидкости. Промышленное наращивание эпитаксиальных слоев кремния.

20. Методы подготовки поверхности. Механическая, химическая, плазмохимическая и ионная обработка поверхности. Вакуум-термическая и химико-термическая подготовка поверхности.

21. Скол в вакууме. Удаление естественных оксидов с кремниевых пластин, водородное и кислородное окончание.

22. Методы нагрева и охлаждение подложек, измерения температуры. Плазмостойкие нагреватели.

23. Геометрия внеосевого напыления. Влияние потенциала подложки на плазменное окисление пленок.

24. Адсорбция газов и обезгаживание материалов.

25. Способы контроля общего и парциальных давлений.

26. Классификация покрытий и технологий их получения.

27. Особенности PVD-технологии получения нанопокрытий.

28. СVD-технологии получения нанопокрытий.

29. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий.

30. Особенности структуры и физико-механических свойств наноструктурных покрытий и пленок.

31. Технология получения Многофункциональных наноструктурных пленок и покрытий 32. Покрытия для пластмасс.

33. Особенности получения наноструктурных покрытий для режущего инструмента.

34. Технологии получения алмазоподобных покрытий.

35. Оптимизация технологического процесса нанесения PVD-покрытий: операции Организация и учебно-методическое обеспечение самостоятельной работы студентов Текущая и опережающая СРС, направленная на углубление и закрепление знаний, а также развитие практических умений заключается в:

работе с лекционным материалом;

работе по поиску и анализу литературы и электронных источников информации по выбранной теме реферата;

переводе материалов из иностранных информационных ресурсов;

изучении тем, вынесенных на самостоятельную проработку;

подготовке к выполнению практических и лабораторных работ;

подготовке к рубежному контролю и зачету.

Творческая проблемно-ориентированная самостоятельная работа, направленная на развитие интеллектуальных умений, комплекса профессиональных компетенций, повышение творческого потенциала студентов заключается в: поиске и анализе публикаций по каждому разделу курса их структурированию и представлении материала на рубежном контроле; подготовке к участию в научных студенческих конференциях.

Темы, выносимые на самостоятельную проработку:

По модулю 1.

1. Классификация покрытий и технологий их получения.

2. Обзор установок для получения наноструктурных покрытий.

3. Особенности PVD, CVD технологий получения наноструктурных покрытий.

4. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий.

По модулю 2.

1. Особенности структуры и физико-механических свойств наноструктурированных покрытий и пленок.

2. Моделирование технологии нанесения покрытий.

3. Методы измерения и исследования физико-механических и трибологических свойств покрытий.

По модулю 3.

1. Технологические процессы получения многофункциональных покрытий и покрытий пластмасс.

2. Особенности получения наноструктурированных покрытий режущих инструментов.

3. Технологические процессы алмазоподобных покрытий.

4. Оптимизация технологических процессов нанесения покрытий.

Учебно-методическое обеспечение самостоятельной работы студентов 1. Ковшов А.Н. Основы нанотехнологии в технике: учебное пособие для вузов / А.Н.

Ковшов, Ю.Ф. Назаров, И.М. Ибрагимов. – 2-е изд., стер. – Москва: Академия, 2011. – 239 c.

2. Рамбиди Н.Г. Структура и свойства наноразмерных образований: реалии сегодняшней нанотехнологии: учебное пособие / Н.Г. Рамбиди. – Долгопрудный: Интеллект, 2011. – 375 c.

3. Алфимова М.М. Занимательные нанотехнологии / М.М. Алфимова. – Москва:

Парк-медиа: Бином. Лаборатория знаний, 2011. – 89 c.

4. Пул Ч.П. Нанотехнологии: учебное пособие: пер. с англ. / Ч. Пул-мл., Ф. Оуэнс. – 5-е изд., доп. – Москва: Техносфера, 2010. – 330 c.

5. Старостин В.В. Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие / В.В. Старостин; под ред. Л.Н. Патрикеева. – Москва: Бином. Лаборатория знаний, 2008. –

6. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ

ДИСЦИПЛИНЫ «ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДАМИ ВАКУУМНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ»

а) основная литература (библиотечный фонд ВлГУ):

1. Морозов В. В., Сысоев Э.П. Нанотехнологии в керамике: монография в 2-х частях.

Ч.1. Наночастицы 2010 - 276 с. http://e.lib.vlsu.ru:80/handle/123456789/2226.

2. Морозов В.В., Сысоев Э.П. Нанотехнологии в керамике: монография: в 2 ч. Ч.2:

Нанопленки, нанопокрытия, наномембраны, нанотрубки, наностержни, нанопроволока. 2011 – 167 с. http://e.lib.vlsu.ru:80/handle/123456789/2487.

3. Ковшов А.Н. Основы нанотехнологии в технике: учебное пособие для вузов / А.Н.

Ковшов, Ю.Ф. Назаров, И.М. Ибрагимов. – 2-е изд., стер. – Москва: Академия, 2011. – 239 c.

б) дополнительная литература (библиотечный фонд ВлГУ):

4. Аракелян С.М., Прокошев В.Г., Абрамов Д. В., Кучерик А.О. Лазерное наноструктурирование материалов: методы реализации и диагностики: учебное пособие, 2010. – 139с. http://e.lib.vlsu.ru:80/handle/123456789/2105.

5. Аракелян С.М., Прокошев В.Г., Абрамов Д.В., Кучерик А.О. Микроструктуры, наноструктуры и гидродинамические неустойчивости, индуцированные лазерным излучением на поверхности твердых тел: монография, 2010. – 144с.

http://e.lib.vlsu.ru:80/handle/123456789/2312.

6. Рамбиди Н.Г. Структура и свойства наноразмерных образований: реалии сегодняшней нанотехнологии: учебное пособие / Н.Г. Рамбиди. – Долгопрудный: Интеллект, 2011. – 375 c.

7. Алфимова М.М. Занимательные нанотехнологии / М.М. Алфимова. – Москва:

Парк-медиа: Бином. Лаборатория знаний, 2011. – 89 c.

8. Пул Ч.П. Нанотехнологии: учебное пособие: пер. с англ. / Ч. Пул-мл., Ф. Оуэнс. – 5-е изд., доп. – Москва: Техносфера, 2010. – 330 c.

9. Старостин В.В. Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие / В.В. Старостин; под ред. Л.Н. Патрикеева. – Москва: Бином. Лаборатория знаний, 2008. – в) периодические издания (библиотечный фонд ВлГУ):

10. Нано- и микросистемная техника: междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал. – Москва: Новые технологии, 2007-2013.

11. Российские нанотехнологии. – Москва: Парк-медиа, 2009-2012.

12. Наноматериалы и нанотехнологии: научный журнал. – Москва: Алкор, 2012.

13. Нанотехнологии: разработка и применение: научно-технический журнал. – Москва:

Сайнс-Пресс, 2011.

14. Нанотехнологии. Экология. Производство: научно-производственный журнал. – Санкт-Петербург: Издательский дом «Нанотех», 2010-2012.

г) программное обеспечение и Интернет-ресурсы:

7. МАТЕРИАЛЬНО-ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ

Для обеспечения учебного процесса по дисциплине «Технологические процессы нанесения покрытий» предусмотрено использование следующих лабораторий кафедры ТМС:

1. Лаборатория 2D- и 3D наноструктурированных покрытий (ауд. 119-4) Краткая характеристика помещения:

Общая площадь – 102 кв.м (2 этажа). 1 этаж – лабораторное и производственное оборудование (67 кв.м), 2 этаж – учебный класс на 15 посадочных мест (36 кв.м). Соответствуют нормам СанПиН 2.2.1./2.1.1.1278-03, СанПиН 2.2.4.548-96, СанПиН 2.2.2/2.4.1340СанПиН 2.4.3.1186-03, ППБ 01-03, СниП 21-01-97, СниП 23-05, НПБ 104- Оборудование:

1. Установка для нанесения наноструктурированных покрытий UniCoat 600SL+;

Производитель – РФ, год выпуска - 2008.

Установка для нанесения покрытий методом PVD с максимальной толщиной многослойного сэндвич-покрытия до 20 мкм на весь диапазон используемого концевого инструмента с системой визуализации, управления и термометрирования технологического процесса в течение всего цикла изготовления. Основные типы покрытий: традиционные покрытия – TiN, TiCN, Ti-C:H; 3D-нанокомпозитные покрытия; 2D-нанокомпозитные покрытия и пленки (в том числе алмазоподобные)- суперлаттики. Соответствует требованиям ОСТ 107.444.0001.004 ПДИР440310.002ТУ Основные технические характеристики: размер мишеней, мм - 492х78, ширина зоны эффективного распыления мишени, мм – 72; габаритные размеры магнетронов, мм х105х60; - возможность работы каждой пары в дуальном режиме; количество магнетронов, шт. – 4; выходная мощность, кВт - 2х12; выходной ток, А - 0.5-20; блок питания магнетронов импульсный с задаваемой частотой 0.1-40 кГц, оснащен системой стабилизации параметров и системой дугогашения; возможность работы блока в дуальном режиме и независимой работы каждого канала; диаметр инструмента, мм - от 2 до 200 мм; размеры вакуумной камеры, мм – 600 х 600 х 2. Стационарная установка для измерения микротвердости HVS 1000.

Производитель – Тайвань. Предназначен для измерения микротвердости в том числе и покрытий.

3. Испытательная система на растяжение термокамерой WDW-100.

Жесткость силовой рамы: 100 кН/мм, Наибольшая предельная нагрузка: 100 кН ( тс); Тип привода: электромеханический, Точность измерения нагрузки: ±1,0%(по заказу 0,5%), Диапазон измерения нагрузки: 400 Н ~ 100 кН; (0.4%-100% полной шкалы, автоматически переключаемые шкалы), 6 шкал, Разрешение нагрузки: 0,001% FS, Диапазон измерения деформации: 2 – 100%, Точность измерения деформации: ±1,0%.

4. Калотестер CSM СAT (Модель CAT-S-AE), Производитель: CSM (Швейцария).

5. Микрокомбитестер CSM МСТ Производитель: CSM (Швейцария).

6. Трибометр CSM (Модель TRB-S-CE-000) Производитель: CSM (Швейцария).










 
© 2014 www.kniga.seluk.ru - «Бесплатная электронная библиотека - Книги, пособия, учебники, издания, публикации»

Материалы этого сайта размещены для ознакомления, все права принадлежат их авторам.
Если Вы не согласны с тем, что Ваш материал размещён на этом сайте, пожалуйста, напишите нам, мы в течении 1-2 рабочих дней удалим его.